1、目前，基于极紫外多层膜的反*式光学元件，已经全面进入了以极紫外光刻与极紫外天文观测为核心的实用化阶段。
2、综述了极紫外和软x*线多层膜光学及其应用，指出了极紫外和软x*线光学的优点和难点。
3、本文探讨了一种可应用于极紫外光刻光学系统的离轴五反*镜系统，它在光学质量、自由工作距离方面满足了极紫外光刻商业化的要求。
4、其中，极紫外线摄影机可以测量电浆层（层最内部，充满低能量电浆的甜甜圈状区域）的氦原子密度，因为氦原子游离掉一个电子后，会吸收再放出太阳紫外线。
5、由于材料的吸收和低折*率问题，极紫外光刻所采用的光学系统发展趋势是全反*型。
6、具有谐波选择和啁啾补偿作用的极紫外啁啾多层膜反*镜是产生亚飞秒脉冲的有效元件。
