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微影技术工具的制造商,在制作可投*157奈米波长机台的过程中,遇到无数困难。
对这些金属狭缝一系列的分析,将对其在近场光学生医扫描器以及使用于微影技术中光罩的应用,提供相当大的贡献。
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