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通过优化脊形波导的结构参数可以降低脊形波导激光器的阈值电流,提出了实现亚微米脊宽,从而降低阈值电流的方法。
通过优化刻蚀参数,获得了侧壁粗糙度和传输损耗相对较低的soi脊形波导。
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