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该模型通过对修正剑桥模型进行改进,能够反映三维应力状态下的剪胀剪缩*和变形、强度的平均应力依存*。
提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及等效**模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速精确计算。
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