水基纳米金刚石抛光液可能是未来抛光液的发展方向。
抛光垫表面特*能可大大改变抛光液的流动情况，从而影响化学机械抛光的抛光*能
介绍了抛光液中部分组分的作用，获得了一种抛光质量较好的抛光液。
介绍了抛光液中部分组分的作用，获得了一种抛光质量较好的抛光液
一百在抛光工艺中，抛光液的种类抛光垫的选择抛光压力温度抛光盘转速加工时间等诸多条件都是决定抛光质量的重要因素
在抛光工艺中，抛光液的种类、抛光垫的选择、抛光压力、温度、抛光盘转速、加工时间等诸多条件都是决定抛光质量的重要因素。
此化学抛光工艺设备投资小，抛光液价格低、寿命长，生产成本低。
一百主要研究了适合铝及铝合金的碱*化学抛光液及抛光工艺
研究表明，抛光液膜厚度随着抛光速度的增加而增加，增加的趋势随抛光转速的提高而减缓。
研究了工件的上盘方法以及抛光压力、自转公转速度、抛光液浓度对抛光质量的影响；
一百零介绍了该抛光液的配制，研究了温度基体材料对抛光效果的影响
通过实验分析，找到适合不同种类光学玻璃的抛光液类型，以有效提高抛光效率，改善抛光表面质量。
本文研究了不锈钢室温化学抛光液的组成和工艺参数。
一百结果表明，利用螺旋振动抛光工艺，配合自制的抛光液，抛光后制品的表*有较低的粗糙度和较好的光亮*
开发出了弱碱*溶液中紫铜化学抛光新工艺，确定了抛光液中的光亮剂(包括缓蚀剂和表面活*剂)。
一百零研究表明，抛光液膜厚度随着抛光速度的增加而增加，增加的趋势随抛光转速的提高而减缓
通过实验发现，该抛光液对各种奥氏体不锈钢的抛光处理在适宜条件下均可得到满意的抛光效果。
抛光液中化学溶液的腐蚀与磨粒的机械磨削两者双重的作用，使得化学机械抛光能造成晶圆薄膜表面全面平坦化的效果
文章论述了钢领化学抛光的特点，通过测试数据确定了钢领化学抛光液的成分，介绍了具体处理工艺
文章论述了钢领化学抛光的特点，通过测试数据确定了钢领化学抛光液的成分，介绍了具体处理工艺。
分析了W -CMP的机理，抛光液对W材料表*有化学腐蚀和机械研磨的双重作用，对抛光速率有着重要的影响。
本发明公开了一种化学机械抛光液，其含有溶胶型二氧化硅、速率增助剂、表面活*剂和水。
此外，进一步利用抛光液，金属的表面会变的更加平滑，就如同镜子一般
在三*抛光液中加八一种组合添加剂可抑制黄烟（NO_2）放出。组合添加剂由三种组分组成，其中一种吸收NO_2，另两种为表面活*剂。
