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考虑了梁元的轴向应力和板元的薄膜应力的影响。
最后将错位相移器应用于集成电路硅片薄膜应力分布测试仪及错位电子散斑干涉仪之中。
利用三点弯曲法研究了掺杂和末掺杂碳纳米管薄膜应力诱导电阻的变化。
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