最後論*用雙光束激光直寫系統製作亞微米光柵型導光板的可行*。
藉由次微米光柵來使得發光二極體光型趨於均勻的理念,可應用於lcd的背光板上,改善發光二極體光源的均勻*。
早期對化學放大膠的研究主要集中在薄的應用於亞微米光刻的化學放大膠,而很少涉及到對厚的化學放大膠的建模。
最後論*用雙光束激光直寫系統製作亞微米光柵型導光板的可行*。
藉由次微米光柵來使得發光二極體光型趨於均勻的理念,可應用於lcd的背光板上,改善發光二極體光源的均勻*。
早期對化學放大膠的研究主要集中在薄的應用於亞微米光刻的化學放大膠,而很少涉及到對厚的化學放大膠的建模。