這個程序可以計算靜電力使結構發生的變形,可以計算加速度作用時微加速度計的輸出電壓。
本發明是一種結 構尺寸小、集成度高、調製速度快的硅基環形諧振腔的微加速度計。
介紹了用光干涉法測量微加速度計零件變形的研究。
線*測試結果表明該複合量程微加速度計具有較好的線*度,因而可以同時在測量四個不同的量程的加速度值。
這個程序可以計算靜電力使結構發生的變形,可以計算加速度作用時微加速度計的輸出電壓。
本發明是一種結 構尺寸小、集成度高、調製速度快的硅基環形諧振腔的微加速度計。
介紹了用光干涉法測量微加速度計零件變形的研究。
線*測試結果表明該複合量程微加速度計具有較好的線*度,因而可以同時在測量四個不同的量程的加速度值。