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1、半導體硅材料是微電子產業的基礎材料。
2、通過對我國半導體硅材料工業現狀及面臨形勢的分析,提出加快發展我國半導體硅材料工業的建議,以加速*硅材料工業與*接軌的進程。
3、微電子是信息社會的基礎,而半導體硅材料則是微電子的支柱。
4、GB/T4298-1984半導體硅材料中雜質元素的活化分析方法
5、從市場、技術和產業化的角度論述了世界半導體硅材料的發展現狀和趨勢。
6、本文介紹了利用半導體硅材料製作的真空微電子器件的核心部件,場致發*硅錐*極,的工藝研究及實驗結果。
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