三轴搭配光学尺做回馈补偿，提高机台精度。
以及在该运动台面的相对侧设有单支的绝对式光学尺及两组读头。
文中引入了光纤的“光学尺寸”这一无量纲参数，并由此导出了新的单模*散公式。
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“光学尺”写句子 用光学尺造句大全
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